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NewArc復合電弧蒸發技術
NewArc復合電弧蒸發技術是在傳統電弧蒸發技術的基礎上進行改進,其效果對比傳統電弧優點如下:
①采用永磁和電磁的復合磁場驅動,弧斑移動更快,弧斑更細碎,有效抑制“微液滴”
②通過電磁場電壓和頻率的變化,能夠控制弧斑的運動,使得靶材燒蝕更加均勻,靶材利用率高
③復合磁場能夠將等離子體推向被鍍工件,增強了工件附近的等離子密度,改變了沉積反應環境
④可實現對涂層微觀組織結構的有效調控,大幅度提高涂層的綜合性能。