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      產品展示 Products
      復合磁場ARC8電弧工模具真空鍍膜機

      詳細信息

      復合磁場ARC8電弧工模具真空鍍膜機 是針對小型模具、刀具、銑刀、鉆頭等產品開發的真空鍍膜機,采用8個直徑150mm的弧源組成,磁場設計為永磁和電磁復合磁場,膜層組織細膩,顆粒小,弧斑運動速度更快、實現高效沉積。

      具體技術規格如下:



      真空室尺寸?1100mm * H1000mm
      極限真空度3.0*10-4Pa
      壓升率0.33Pa/hr(常態)
      冷卻水6ton/hr
      占據空間3*3*2.5m3
      真空室304不銹鋼,單層內襯,五年質保
      抽氣系統進口分子泵+Leybold粗抽泵+羅茨泵
      真空檢測英??礐DG045D薄膜規
      流量控制Brooks/MKS/AE/匯博隆可選
      轉架可拉出下轉架
      磁控濺射平面濺射靶安裝孔位兩個(可選配)
      陰極電弧

      4組(8套)(靶材規格150*20)

      偏壓電源德國霍廷格偏壓Huettinger Bias 36KW  
      加熱系統最高500度,3根熱電偶監測
      冷卻水循環系統配日本SMC水流開關,智能控制
      電氣元件日本三菱PLC、端子、施耐德等空開、接觸器。


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