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復合磁場ARC8電弧工模具真空鍍膜機
詳細信息
復合磁場ARC8電弧工模具真空鍍膜機 是針對小型模具、刀具、銑刀、鉆頭等產品開發的真空鍍膜機,采用8個直徑150mm的弧源組成,磁場設計為永磁和電磁復合磁場,膜層組織細膩,顆粒小,弧斑運動速度更快、實現高效沉積。
具體技術規格如下:
真空室尺寸 | ?1100mm * H1000mm |
極限真空度 | 3.0*10-4Pa |
壓升率 | 0.33Pa/hr(常態) |
冷卻水 | 6ton/hr |
占據空間 | 3*3*2.5m3 |
真空室 | 304不銹鋼,單層內襯,五年質保 |
抽氣系統 | 進口分子泵+Leybold粗抽泵+羅茨泵 |
真空檢測 | 英??礐DG045D薄膜規 |
流量控制 | Brooks/MKS/AE/匯博隆可選 |
轉架 | 可拉出下轉架 |
磁控濺射 | 平面濺射靶安裝孔位兩個(可選配) |
陰極電弧 | 4組(8套)(靶材規格150*20) |
偏壓電源 | 德國霍廷格偏壓Huettinger Bias 36KW |
加熱系統 | 最高500度,3根熱電偶監測 |
冷卻水循環系統 | 配日本SMC水流開關,智能控制 |
電氣元件 | 日本三菱PLC、端子、施耐德等空開、接觸器。 |